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儀器搭載帶玻璃或鈹窗口的鎢靶X射線管，工作條件達(dá)50KV、50W，配合比例接收器，可高效捕捉高達(dá)數(shù)kcps的計(jì)數(shù)率。其配備的準(zhǔn)直器支持固定或4個(gè)自動(dòng)切換，最小可實(shí)現(xiàn)0.05x0.05mm的測量點(diǎn)，微聚焦管技術(shù)確保短測量距離內(nèi)的精準(zhǔn)定位。獨(dú)特的C型槽殼體設(shè)計(jì)與手動(dòng)XY軸工作臺(tái)，既適配印刷線路板等大型平整樣品，也能滿足連接器、觸點(diǎn)等細(xì)小部件的精確定位測量，視頻窗口更輔助實(shí)現(xiàn)測量位置的可視化把控。